由于激光跟蹤儀是利用激光測(cè)距，所以測(cè)距精度很高，但角度編碼器隨著距離的加大帶來(lái)的位置誤差亦很大，所以跟蹤儀本身主要是角度誤差。

  在激光跟蹤儀的應(yīng)用中靶標(biāo)對(duì)測(cè)量精度的影響亦不可忽視，通常靶標(biāo)外形為球形，內(nèi)部為3個(gè)互相垂直的反射鏡(CCR)。若三個(gè)反射鏡的角點(diǎn)和外球的中心不重合或3個(gè)反射鏡面相互不垂直都會(huì)引起誤差，因此在同一次測(cè)量中推薦使用同一個(gè)反射鏡，同時(shí)反射鏡不要繞自身光軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

  激光本身受大氣溫度、壓力、濕度及氣流流動(dòng)的影響，所以大氣參數(shù)的補(bǔ)償對(duì)此儀器的正常使用十分關(guān)鍵。